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本实用新型涉及一种太阳能电池沉积系统中的射频放电装置，由一个交流电源和一个高压开关串联后与一个放电负载和一个射频电源并联组成，其特征在于所述放电负载上并联一个高压触发器，该高压触发器通过所述高压开关控制射频电源并向射频电源输送高压，使放电负...
该专利属于李毅所有，仅供学习研究参考，未经过李毅授权不得商用。

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