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一种网格式射频等离子体发生器，有电缆、匹配网络、射频电源，是设置一个托盘状屏蔽罩，在其内布置一个与它绝缘的栅极，在栅极上方位于屏蔽罩内布置一个与它同电位的加速极，在屏蔽罩底面外侧布置一个与电缆连接的同轴接头，其外导体与屏蔽罩连接，内导体与栅...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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