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一种真空等离子处理装置。该装置在与基座１３相对的真空处理容器１１的绝缘体壁面上按栅格状排列凸球形的分电极１５ａ、１５ｂ、１５ｃ，且分电极１５ａ、１５ｂ、１５ｃ接有产生等离子区用的高频电源１６ａ、１６ｂ、１６ｃ，施加分别相差１２０°相位的高频...
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