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脉冲离子束辅助淀积制造技术
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文档序号:3718521
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一种在基片上对一种材料进行脉冲离子束辅助淀积的方法,包括: a)所述材料淀积在基片上,由此产生一个复合结构;和 b)通过至少一个离子束脉冲的作用,热处理复合结构。...
该专利属于桑代公司所有,仅供学习研究参考,未经过桑代公司授权不得商用。
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