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本发明提供一种等离子体处理装置，主要是改进等离子体处理装置内的上电极板的构造。本发明的上电极板包括绝缘盖板；支持框架，其固定在绝缘盖板的底部，以支持绝缘盖板，且具有一孔；以及气体分配板，由绝缘材质构成，其固定在支持框架的孔中，且其底部具有多...
该专利属于友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

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