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本发明涉及一种具有较低纵横比反应气体的电感耦合等离子发生器，包括：一个箱体，其包括一个气体注入口，一个真空泵，以及一个气体排出口；一个夹盘；以及一个高频电源施加在其上的天线，在所述箱体的上部或侧部提供该天线，其中该天线具有平行的天线元件，在...
该专利属于株式会社普来马特所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社普来马特授权不得商用。

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