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本发明是一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置。该方法是：先利用微波激励产生电子回旋共振等离子体，再利用离子回旋谐振加热将高频功率耦合到等离子体中的离子成分中，将离子的动力学温度升高到１０～４０ｅＶ，然后利用引出电极和梯度磁场控制等离子体中的离...
该专利属于武汉化工学院所有，仅供学习研究参考，未经过武汉化工学院授权不得商用。

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