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本发明涉及图像处理领域，具体涉及一种基于计算机视觉的半导体设备维修系统，包括图像处理模块：获取待检测晶圆表面灰度图的异常灰度值；种子像素点确定模块：根据异常灰度值的像素点的密度聚类结果确定种子像素点；关键像素点选取模块：利用种子像素点将每个...
该专利属于深圳市川世达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市川世达科技有限公司授权不得商用。

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