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本发明涉及一种产生气体等离子体的装置，其使用具有确定额定功率（Ｐ↓［ｎ］）的微波源将气体电离，该装置包括从供电电路接收电能的磁控管（７）。所述装置的特征在于由供电电路输送到磁控管（７）的功率（Ｐ↓［ｄ］）不大于磁控管（７）的额定功率（Ｐ↓［...
该专利属于萨特莱克电子技术应用设计公司所有，仅供学习研究参考，未经过萨特莱克电子技术应用设计公司授权不得商用。

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