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特别是用于平版印刷的远紫外光的发生方法和装置制造方法及图纸
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下载特别是用于平版印刷的远紫外光的发生方法和装置的技术资料
文档序号:3717172
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按照本发明,使激光束(24)与致密的微液滴雾(20)相互作用,此液体是液化的稀有气体。特别使用液体氙(6),通过气态氙(10)的液化得到液体氙,用气态氙将液体氙加压到5×10↑[5]~50×10↑[5]Pa,此液体氙保持在-70~-20℃的...
该专利属于法国原子能委员会所有,仅供学习研究参考,未经过法国原子能委员会授权不得商用。
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