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本实用新型提出了一种用于制备大面积钙钛矿薄膜电池的抽真空设备，包括真空腔，所述真空腔内顶部设有可升降盖板，所述真空腔顶部设有升降组件，所述升降组件伸于所述真空腔内并与所述可升降盖板连接，所述可升降盖板下表面为非平面；所述真空腔底部设有若干第...
该专利属于昆山协鑫光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山协鑫光电材料有限公司授权不得商用。

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