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应用在曝光机上的除静电装置制造方法及图纸
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下载应用在曝光机上的除静电装置的技术资料
文档序号:3716873
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本实用新型公开了一种应用在曝光机上的除静电装置,包括振荡升压器、与所述的振荡升压器电连接的电离器、与所述的电离器相连通的空压源,所述的电离器与所述的空压源之间还设置有用于调节离子风量大小的调节装置。由于上述技术方案的采用,使得除静电装置的离...
该专利属于昆山鼎鑫电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山鼎鑫电子有限公司授权不得商用。
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