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静电自动消除器，它是以工位面带电体的电荷为驱动信号源，控制内控逻辑电路发出启动命令，接通静电自动消除器电源开关，消电器产生双极性离子，离子流被风机送出与工位面带电体发生中和作用，当带电体的电荷被中和后，消电器立即停止工作。...
该专利属于北京市电子工艺技术研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过北京市电子工艺技术研究中心授权不得商用。

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