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本发明涉及一种MEMS热电堆的响应时间检测方法及系统。其检测方法包括：提供待检测的MEMS热电堆，并在所述MEMS热电堆的红外吸收区内集成用于提供响应时间检测所需热源的检测加热器；驱动检测加热器工作，以将检测加热器配置作为热源，其中，检测加...
该专利属于无锡物联网创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡物联网创新中心有限公司授权不得商用。

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