下载一种实现CASCODE模式的GaNHEMT功率器件的技术资料

文档序号:37160914

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本发明公开了一种实现CASCODE模式的GaN HEMT功率器件,属于半导体技术领域,器件包括从下至上依次连接的第三衬底、第二中间层、缓冲层、GaN层和AlGaN层;AlGaN层上设置有源极、漏极和栅极,其中,源极、漏极均延伸连接至所述Ga...
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