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本发明公开了一种MPCVD装置，包括沉积台、基片台、升降台、微波石英窗、上盖板、底板、压力传感器、复合视窗、厚度测量装置、视觉装置、测温装置、等离子体诊断装置、真空密封圈及微波屏蔽密封圈；上盖板与底板围成反应腔，在上盖板的顶部设置有进气孔，...
该专利属于郑州磨料磨具磨削研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州磨料磨具磨削研究所有限公司授权不得商用。

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