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基于涡旋光干涉的角度传感装置及测量方法制造方法及图纸
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下载基于涡旋光干涉的角度传感装置及测量方法的技术资料
文档序号:37157252
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本发明公开了基于涡旋光干涉的角度传感装置及测量方法,涉及角度位移传感测量技术领域,包括光源、相位板、分束片、高反镜一、高反镜二、合束片和CCD相机。光源产生高斯光束,相位板将高斯光束转为涡漩光束,分束片、高反镜一、高反镜二和合束片构成马赫曾...
该专利属于河海大学所有,仅供学习研究参考,未经过河海大学授权不得商用。
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