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本发明属于光学精密加工技术领域，并具体公开了一种基于玻璃通孔填充技术的双腔室MEMS加热气室及其制作方法。包括顶部玻璃片，上设有Au
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该专利属于中国航天三江集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天三江集团有限公司授权不得商用。

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