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本发明给出了一种立式PVD双面沉积硅片装载装置；包括基片架和载板组件；载板组件包括托盘和掩膜板，托盘设有若干第一覆膜区域，处于第一覆膜区域内的托盘反面侧壁开有装配槽，处于第一覆膜区域内的托盘还开有第一镀膜通孔，第一镀膜通孔延伸至与装配槽相通...
该专利属于普乐新能源（蚌埠）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普乐新能源（蚌埠）有限公司授权不得商用。

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