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本发明提供了一种碳化硅的制备方法和制备装置，属于半导体材料制备技术领域。本发明通过在石墨坩埚中增加石墨柱，不仅可以缩短混合原料的径向距离达到缩小温度梯度目的，而且可以很好的将石墨坩埚底部的热量传递到混合原料的芯部，减少混合原料径向温度梯度和...
该专利属于宁波合盛新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波合盛新材料有限公司授权不得商用。

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