下载六氟化硫放电降解装置及降解方法的技术资料

文档序号:37143726

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本发明涉及气体净化装置技术领域,尤其是涉及一种六氟化硫放电降解装置及降解方法;放电降解装置包括供气单元、搅拌混合单元和放电反应单元,供气单元包括供气主管、以及与所述供气主管连接的惰性气体供入模块、六氟化硫供入模块和外加气体供入模块,惰性气体...
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