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本发明公开一种测量单个细胞电信号的微电极阵列芯片、制作方法及应用，微电极阵列芯片包括：基板；微电极阵列，设置在基板，具有阵列间隔分布的多个微电极，每个所述微电极分别包括由下至上依次形成的粘附层、导电层和微柱；绝缘层，形成于基板和微电极阵列上...
该专利属于长春理工大学中山研究院所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学中山研究院授权不得商用。

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