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本发明涉及机械抛光液技术领域，具体为一种化学机械抛光液，由研磨剂、金属腐蚀抑制剂、促进剂、氧化剂、非离子表面活性剂、络合剂和离子水组成，其中所述促进剂为炭纤维粉、石墨烯粉末和生物类黄酮；本发明通过加入炭纤维粉、石墨烯粉末和生物类黄酮制成的促...
该专利属于天津派森新材料技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津派森新材料技术有限责任公司授权不得商用。

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