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一种微波等离子体去除涂层的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:37138176
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本发明公开了一种微波等离子体去除涂层的装置及方法,属于微波等离子体应用技术领域,包括矩形波导、转换部件、喷射装置和进气管;所述喷射装置包括外壳和喷射部件;所述矩形波导左端设有微波馈入口,矩形波导通过转换部件连接外壳;所述外壳内设有等离子体发...
该专利属于成都奋羽电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都奋羽电子科技有限公司授权不得商用。
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