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本发明提供一种碳化钨或碳化硅工件表面的超精密磨削方法，该方法包括如下步骤：采用水溶性磨削液，并采用树脂砂轮对工件进行预设磨削参数及磨削路径下的半精密磨削加工；采用油性磨削液，并采用细陶瓷砂轮对工件进行预设磨削参数及磨削路径下的精密磨削加工；...
该专利属于成都光明南方光学科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都光明南方光学科技有限责任公司授权不得商用。

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