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本发明公开了一种优化注入颗粒的复合薄膜及其制备方法，方法包括如下步骤：准备压电晶圆和衬底晶圆；将压电晶圆进行离子注入处理，在离子注入处理的全程利用粒子淋浴器产生的粒子束对离子束进行喷淋，粒子束在喷淋时与离子束形成夹角，得到包含薄膜层、分离层...
该专利属于济南晶正电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南晶正电子科技有限公司授权不得商用。

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