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本发明公开了一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置及方法，其中，检测方法包括：(1)通过电动五维调整架调整大口径元件夹持的角度，得到对焦清晰且条纹对比度良好的干涉图；(2)通过调节激光器控制器电压，使得可调谐激光器波长改变，从而实现...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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