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本发明提供了能够预测喷墨头单元的使用寿命并且能够使该寿命最大化的控制单元及包括其的基板处理装置。所述控制单元用于维护向基板上喷出基板处理液的喷墨头单元，并且包括：计数模块，用于对喷墨头单元的每个喷嘴的喷出次数进行计数；比较模块，用于将喷出次...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

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