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本申请提供声波器件及其制造方法，其中，声波器件包括多个体声波谐振结构，每个体声波谐振结构，包括：衬底；依次层叠于所述衬底上的反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层；多个凸块，均位于所述压电层上且围绕所述第二电极层周向布置；所述凸块与所述第...
该专利属于武汉衍熙微器件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉衍熙微器件有限公司授权不得商用。

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