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本实用新型提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，包括：炉体，所述炉体上设置有炉盖，所述炉盖的内壁固定连接有锥形凸环，所述炉体内壁的顶部固定连接有凹环，所述锥形凸环内开设有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有限位环，所述限位环的中部固定连接有第一齿板，所...
该专利属于苏州铠欣半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州铠欣半导体科技有限公司授权不得商用。

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