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本发明涉及一种具有分层结构的MEMS，其包含空腔，该空腔设置于该分层结构中且通过该分层结构中的至少一个开口流体耦接至该分层结构的外部环境。该MEMS包含相互作用结构，该相互作用结构布置于第一MEMS平面中且在该空腔中使得它可沿着平面方向移动...
该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。

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