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本发明实施例提供一种声学谐振器及其制作方法，涉及压电谐振器技术领域，声学谐振器的制作方法包括：在衬底的一侧形成底部叠层结构；在所述底部叠层结构远离所述衬底的一侧形成底电极层、压电层和顶电极层；在所述底电极层、所述压电层以及所述顶电极层远离衬...
该专利属于偲百创（深圳）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过偲百创（深圳）科技有限公司授权不得商用。

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