下载气路结构、干靶装置减压方法及干靶装置的技术资料

文档序号:37124632

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本申请提供一种气路结构,用于在干靶装置中对待干燥样本进行干燥。该气路结构包括真空腔体、第一电磁阀、第二电磁阀及真空泵;真空腔体用于放置待干燥样本,真空泵用于对气路结构进行抽气;第一电磁阀及第二电磁阀与真空腔体相连通,用于控制真空泵在气路结构...
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