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本发明提供了一种应用于外延生长的托盘和外延生长反应室。该托盘上侧面设有放置晶片的多个晶片承载区，且所述托盘内部设有导气通道；所述托盘包括同轴设置的中心区域和外围区域，所述导气通道的一端延伸至所述托盘上侧面的所述中心区域，所述导气通道的另一端...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

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