下载可同时生产三根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构的技术资料

文档序号:3712320

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一种可同时生产三根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构,涉及高频线圈技术领域;所述的高频线圈结构包括用于电流(16)导流的分流槽(15),三个内孔(8)呈三角形排列在高频线圈(3)的中部,在电流输送暨冷却水输送铜管A(11)及电流输送暨冷却水输...
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