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本发明提供了一种SEM图像质量评价方法，所述SEM图像质量评价方法，包括：获取第一SEM图像，对所述第一SEM图像进行傅里叶变换；根据第一SEM图像进行傅里叶变换的结果，获取第一SEM图像所对应的频谱图和相位图；根据频谱图中的亮点的幅值，获...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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