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苏州极刻光核科技有限公司
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模斑转换结构和光子器件制造技术
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文档序号:37104927
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提供一种模斑转换结构和光子器件。模斑转换结构包括:依次设置的衬底、隔离层和波导层,波导层包括沿远离衬底的方向依次排列的N个分别呈凸起形状的子波导层,N为自然数且N≥3,其中:模斑转换结构具有配置为与集成光波导耦合的第一端面,以及与第一端面相...
该专利属于苏州极刻光核科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州极刻光核科技有限公司授权不得商用。
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