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文档序号:37104059

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一种半导体结构及其形成方法,其中方法包括:在所述衬底上形成伪栅极,所述伪栅极沿第一方向延伸,所述伪栅极包括隔离区,所述隔离区沿第二方向贯穿所述伪栅极,所述第二方向垂直于第一方向,且所述第一方向和所述第二方向均平行于衬底表面;在所述伪栅极侧壁...
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