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本实用新型提供了一种用于单面研磨的工装，涉及工装领域，包括：圆形的主体，在主体的上表面设置有用于容纳待加工工件的产品槽，若干所述产品槽呈环形阵列排布且若干所述产品槽的底面位于同一平面上，所述产品槽内设置有固定挡板，所述主体的侧面设置有固定螺...
该专利属于长沙升华微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙升华微电子材料有限公司授权不得商用。

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