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一种双向驱动的多级微位移放大装置制造方法及图纸
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下载一种双向驱动的多级微位移放大装置的技术资料
文档序号:37097466
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本实用新型提供一种双向驱动的多级微位移放大装置,包括位于同一平面上的压电组件、组间刚性杆和输出块,所述压电组件有两个,两个所述压电组件相互对称布置。通过设置两个压电组件,并在两个压电组件的一级刚性杆之间形成有用于放置压电陶瓷驱动器的驱动空间...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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