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本申请公开了一种吹扫置换面板，其属于半导体制造领域，包括：连接管路、主单向阀、主隔膜阀、调压阀、副单向阀，副隔膜阀，真空发生装置；连接管路连接于惰性气体管网与工艺管路之间；主单向阀设置在连接管路靠近工艺气体管路一端；主隔膜阀设置在连接管路靠...
该专利属于江攀攀所有，仅供学习研究参考，未经过江攀攀授权不得商用。

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