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本发明涉及晶圆加工技术领域，具体是涉及一种多维度晶圆加工用拾取机械手，包括机架和夹取装置，夹取装置包括上夹爪组件、下夹爪组件、旋转驱动器和第一直线驱动组件；上夹爪组件包括第一安装架、第一旋转轴和第一滚轮，第一旋转轴可旋转的安装在第一安装架上...
该专利属于深圳市星国华先进装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市星国华先进装备科技有限公司授权不得商用。

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