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一种高透明、超疏水、无彩虹纹的石英无序纳米结构及其制备方法和应用技术
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文档序号:37084220
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本发明属于微纳米加工技术领域,提供了一种高透明、超疏水、无彩虹纹的石英无序纳米结构及其制备方法和应用。本发明先利用相分离技术、干法刻蚀和真空蒸镀,在硅衬底上制备无序纳米孔结构,从而得到无序纳米孔压印模板;再利用紫外纳米压印技术将硅衬底上的无...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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