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本发明涉及一种提高半导体激光器腔面膜抗潮性的镀膜方法及膜系结构，属于半导体激光器技术领域。本发明在增透膜和高反膜外设置有环境接触层SiO2薄膜，高反膜为(Al2O3/TiO2)^6。本发明在不改变镀膜设备、不使用气密性封装的前提下，提出了一...
该专利属于潍坊华光光电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊华光光电子有限公司授权不得商用。

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