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本发明公开了一种液晶面板铜钛蚀刻液，包括主剂；按质量百分比计，主剂的主要组成为：过氧化氢1%～15%、无机酸0.5%～9%、有机酸0.01%～5%、有机碱0.3%～25%、过氧化氢稳定剂0.001%～3%、金属缓蚀剂0.001%～3%、氟离...该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种液晶面板铜钛蚀刻液，包括主剂；按质量百分比计，主剂的主要组成为：过氧化氢1%～15%、无机酸0.5%～9%、有机酸0.01%～5%、有机碱0.3%～25%、过氧化氢稳定剂0.001%～3%、金属缓蚀剂0.001%～3%、氟离...