下载一种基于激光干涉仪测量的多轴机床几何误差辨识方法的技术资料

文档序号:37065728

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本发明公开了一种基于激光干涉仪测量的多轴机床几何误差辨识方法,包括以下步骤:根据机床结构规划激光干涉仪测量空间;分别在测量空间内的x,y,z三个移动方向上各选择三条移动轨迹,分别测量这九条移动轨迹上特定点的定位误差和两个直线度误差;对测量数...
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