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本发明提供了一种石墨烯混合硅基Fano共振调制器，包括：绝缘体上硅基层，以及在所述绝缘体上硅基层上形成的微环谐振器结构，其中，所述微环谐振器结构包括直波导和环形波导，在所述直波导的耦合区域开设一个或多个空气洞；在所述绝缘体上硅基层上铺设单层...
该专利属于北京信息科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京信息科技大学授权不得商用。

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