下载气相生长装置以及外延晶片的制造方法的技术资料

文档序号:37041303

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种气相生长装置,即使采用基座以及预热环与反应容器的顶板下表面之间的空间狭小化的结构,也能够充分确保向基座装卸基板时基板搬送构件的移动空间。在反应室中设置使基座在第一位置与第二位置之间升降的基座升降机构。在基座位于第一位置的状态下,基座...
该专利属于爱必克股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱必克股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。