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气相生长装置以及外延晶片的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:37041303
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提供一种气相生长装置,即使采用基座以及预热环与反应容器的顶板下表面之间的空间狭小化的结构,也能够充分确保向基座装卸基板时基板搬送构件的移动空间。在反应室中设置使基座在第一位置与第二位置之间升降的基座升降机构。在基座位于第一位置的状态下,基座...
该专利属于爱必克股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱必克股份有限公司授权不得商用。
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