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本发明公开了一种含硅多苯基硫鎓盐单分子树脂及其光刻胶组合物，所述树脂具有式(I)或式(II)所示的化合物。在式(I)或式(II)所示的化合物结构中，同时含有硫鎓盐和羟基或酸敏感的基团，因此所述化合物可以同时具有产酸和酸交联或酸敏感双重功能，...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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