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一种硅片负压传输装置，包括负压传输皮带机、硅片上料料盒、风刀、吸盘、第一位置传感器、第二位置传感器；硅片上料料盒设置于负压传输皮带机下方，风刀以及第一位置传感器设置于硅片上料料盒的第一固定位置处，硅片上料料盒内的硅片上料至第一固定位置，第一...
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